半導体ウエハーの温度測定に最適な"オプチサーム"

《特長》

●レイヤー生成時に急速に変化する放射率の測定及び正確な温度測定
●測定対象材料に合わせて波長帯域を選択可能
●放射率を測定現場で校正可能

《用途》

●半導体ウエハーの温度測定
●ウエハーの製造、研究開発
●エピタキシャル結晶成長の温度測定
●反射率の高い対象及び素材

《主な機能》

●温度と放射率の自動測定
●測定温度範囲：250℃〜1500℃
●測定精度：±3℃
●6つの測定波長から選択可能：808、850、905、940、980、1550nm
●データ収集速度：1ms
●デジタルRS232インターフェース
●ホストPCに毎秒70の測定データを出力
●測定スポット径：6.35mm以上