小型卓上研磨システム | |
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FACT-200/300シリーズ 本格的な"自動定盤修正装置"を装備し超精密な仕上げを可能にします。 装置本体の剛性により拡張性が高く揺動・強制駆動・エア加圧等の付加装置による機能・性能アップが可能です。 《特徴》
●CPMによるグローバルプラナリゼーションの試作実験研磨。 |
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株式会社ナノファクター | 電子材料 |
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半導体プロセス用周辺装置 |