先端技術と製品情報M&E@Web株式会社工業調査会
マスク洗浄装置 TWC-300

マスク洗浄はテクノビジョンにお任せください。
露光工程(コンタクト、プロキシミティ露光)に強力な味方。

《特徴》

・露光プロセスのランニングコストを劇的に削減。
・毎月10,000,000円を削減*
・環境に配慮した水溶性薬液を使用。
・危険な熱硫酸、硫酸過水や有機溶剤から解放。
・薬液と装置の洗浄レシピーとノウハウの提供。
・*は1製品で5種類のマスク、1日100枚露光毎にマスクを交換。
 マスク価格を50,000円〜80,000円と仮定。