ウエハー搬送用真空ピンセット | |
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ウエハープロセスの作業効率向上を可能にする真空ピンセットです。導電性に優れた「Cシリーズ」、耐薬品性に優れた「Fシリーズ」を用意。搬送用のチップも多岐に渡るラインナップを揃え、幅広い選択肢を提供しています。 《特徴》
1.精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束。 |
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フロロメカニック株式会社 | 電子材料 |
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半導体プロセス用周辺装置 |