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ウエハー搬送用真空ピンセット

ウエハープロセスの作業効率向上を可能にする真空ピンセットです。導電性に優れた「Cシリーズ」、耐薬品性に優れた「Fシリーズ」を用意。搬送用のチップも多岐に渡るラインナップを揃え、幅広い選択肢を提供しています。

《特徴》

1.精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束。
2.ピンセット弁内部を鏡面仕上げ加工にすることで、優れた気密性、耐久性を発揮。また、ボタン開閉時の発塵を最低限に抑える。
3.金属部分の露出を最小限に抑えているので、安全なハンドリングができる。
4.吸着チップは吸着面に高度な鏡面仕上げを施してあり、パーティクルの発生を防ぎ長期間の使用にも安定した吸着面精度。
5.ピンセット本体はコネクターによりチューブと接続されているので、本体をチューブから容易に取り外すことができる。
6.当社製小型真空ポンプとの組み合わせで、エアー源の無い場所でも簡単に使用可能。