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大型ガラス基板保管庫(常温・超低湿庫)

 ガラス基板や、大型パネル等の大型板状ワークの防湿保管に最適です。大型キャビネット内に新たに開発した強力最新式除湿ユニットを複数台搭載し、庫内湿度(連続1%RH)を達成しました。また、ワーク収納部は専用ローラーと特殊ガイドを採用し、ワーク(大型基板)の収納が非常に簡単です。

 収納できるワークサイズも縦Max約1300mm×横Max約2000mm×厚み(Min2mm)まで可能です。ワークサイズが大きすぎて湿度管理できないとお困りだった皆様、是非、ご相談下さい。(受注生産品)