非水系・水系同室真空洗浄装置 VAIOCS | |
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《概要》 欧州市場最大のシェアを誇るSurface Alliance のEMO の製品で、炭化水素系と水系の洗浄から乾燥までを特許の一室で行うVAIOCS です。全てのプロセスは減圧下で自動的に行われ、洗浄液は大気に漏洩することなく装置内で完全回収、半永久的に再利用されるクローズドシステムです。 《特徴》
同一チャンバーで非水系と水系で洗浄。2液それぞれによる浸漬洗浄とベーパー(蒸気)法による理想的な脱グリース。
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